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Lauda Hydro 系列恒温水浴槽
Lauda Alpha 加热制冷恒温器
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Lauda 新一代Integral T过程恒温器
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英诺德 INNOTEG TCS-2 加热制冷恒温器
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Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器
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Lauda Kryoheater Selecta 工艺过程恒温器
Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器
LAUDA Semistat热电过程恒温器适用于 -20 至 90 °C 的半导体行业，
热电温度控制系统LAUDA Semistat为等离子刻蚀工艺提供稳定的可重复性的温度控制。系统动态地控制静电卡盘(ESC)的温度并可以用在刻蚀工艺中。LAUDA Semistat 热电温度控制系统设计的基础是基于帕尔帖原理的温度转换， 这些原件可以实现快速地温度控制，满足了当今元器件生产尺寸越来越小的要求。
与基于压缩机的系统相比，热点在线使用 Semistat 温度控制系统，降低能耗多达 90 %。可安装在使用地点的地下，非常节省空间，这样尽可能减少无尘室的使用。将过程温度曲线控制在 ±0.1 K，从而提高晶圆间均质性。
产品型号：S 1200/ S 2400/ S 4400
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Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器
